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氣體管道工程

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特氣集中供氣係統

發表時間:2018-07-27     閱讀次數:     字體:【

特氣管道係統 Special Gas Pipeline System 是指SiH4,NF3,Cl2 等一些具有高危險性,應確保安全性的特氣。公司提供從供氣係統;排氣處理、監視係統的綜合管理係統;建立以安全為第一的特氣管理輸送係統。提供設計、選型、製造、安裝、測試、調試和係統托管服務等整體解決方案。

特種氣體是光電子、微電子等領域,特別是超大規模集成電路、液晶顯示器件、非晶矽薄膜太陽能電池、半導體發光器件和半導體材料製造過程不可缺少的基礎性支撐源材料。它的純度和潔淨度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率,並從根本上製約著電路和器件的精確性和準確性。

工程項目覆蓋半導體、集成電路、平板顯示、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫藥、各類實驗室、研究所、標準檢測等高科技行業;為客戶提供高純介質輸送係統全套解決方案。

 
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